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NanoImprint-Technologie
Methodenentwicklung, Anwendung der Methodik und
höchstauflösende 3D Templates
höchstauflösende 3D Templates
Die im Konsortium entwickelte NanoImprint-Technologie bietet wesentliche Vorteile:
- Präzision bis in den Sub-Nanometer-Bereich
- höchste Reproduzierbarkeit
- maßgeschneiderte 3D-Nanostrukturanordnungen auch auf große Flächen
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kostengünstige Materialien
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große Stückzahlen für den Massenmarkt
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zeit- und kostengünstiges Verfahren
Neuartiger 3D-NanoImprint-Stempel
Konventioneller NanoImprint-Stempel


